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超声喷涂原理
超声喷涂是利用超声波喷嘴的高频声波(超出人类声觉范围)将液体转为雾化形态的过程。首先,压电式陶瓷换能器接收超声波发生器的高频电能,并把它转化成同样频率的机械震动,同时该震动沿喷嘴的长度方向传递并在喷嘴端部达到最大,也就是喷嘴最前端的部位;此时,液体通过管道导入至喷嘴端部并吸收了超声振动能量,因此而雾化。
超声喷涂与超声功率(振幅)、液体流量、频率三者息息相关。一般而言,频率越高,雾化的液滴越小,所需的流量也越低。针对高精密的喷涂,例如光刻胶,往往对超声发生器有着极高的要求,频率波动要小于100Hz,功率精度要达到0.01W。
喷头技术
集成换能器的喷头是将电能转换为机械式的震动能,并将该能量传递给液体将其雾化,其阻抗关系着发热量、功率波动等参数。井芯专门开发了分体式超高频130Khz喷头来满足光刻胶、燃料电池等材料的精密喷涂,比起120Khz喷头,拥有更细
的雾化颗粒,也有着业界最佳的小于20Ω的阻抗,可以满足客户的超高精密控制需求。
供液技术Liquid supply technology
井芯半导体针对不同的供液精度、流量需求,有着不同的供液方案,并将其与超声系统集成,可高效实现气、液、超声三者的联动控制。一般来讲,井芯半导体可以提供:
l 压力式供液泵:利用气体压力实现连续或脉冲式供液。
l 注射泵供液:可根据需求增加超声或双注射功能
l 齿轮泵供液:针对连续供液的情况,实现连续恒流供液
l 超恒流供液:针对精密供液需求,实现流量重复精度达到业内最佳的±0.5%
喷涂产品介绍
45Khz低频喷涂系统 45Khz Low frequency spraying system
模块化设计,集成了45Khz的发生器、喷头和供液技术,并可以实现气流的聚拢、宽幅等多种形态,实现不同的喷涂宽度。针对助焊剂、屏蔽涂层等可以实现低成本、高效的喷涂。
130Khz高频喷涂系统 130Khz High frequency spraying system
以高于业内的超高频率、0.01W的高精度控制技术和超低阻抗,实现了我司可提供的最佳产品,并匹配涡流气流系统,可以满足光刻胶、燃料电池等应用的精密喷涂需求,实现最佳的膜层均匀性和一致性。