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台式喷涂机

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所属分类:超声喷涂
常州井芯半导体设备有限公司由国际化的人才团队创建而成,针对超声技术和等离子技术在半导体、微电子领域的广泛应用,致力于半导体专用超声、等离子设备的开发与销售,并与中科院、有研科技等院所研发合作,为业界提供优良的产品与服务。我们在半导体、微电子、先进连接、自动化等多个领域拥有20多年的研发经验,可以为客户提供工艺研究、材料验证、设备定制等一系列服务,并通过技术创新和高品质满足客户的持续发展需要,是您值得信赖的合作伙伴。
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产品详情

      超声喷涂原理

超声喷涂是利用超声波喷嘴高频声波(超出人类声觉范围)将液体转为雾化形态的过程首先,压电式陶瓷换能器接收超声波发生器的高频电能,并把它转化成同样频率的机械震动同时该震动沿喷嘴长度方向传递并在喷嘴端部达到最大,也就是喷嘴最前端的部位;此时,液体通过管道导入至喷嘴端部并吸收了超声振动能量,因此而雾化

超声喷涂与超声功率(振幅)、液体流量、频率三者息息相关。一般而言,频率越高,雾化的液滴越小,所需的流量也越低。针对高精密的喷涂,例如光刻胶,往往对超声发生器有着极高的要求,频率波动要小于100Hz,功率精度要达到0.01W

 

喷头技术

集成换能器的喷头是将电能转换为机械式的震动能,并将该能量传递给液体将其雾化,其阻抗关系着发热量、功率波动等参数。井芯专门开发了分体式超高频130Khz喷头来满足光刻胶、燃料电池等材料的精密喷涂,比起120Khz喷头,拥有更细

的雾化颗粒,也有着业界最佳的小于20Ω的阻抗,可以满足客户的超高精密控制需求。

 

供液技术Liquid supply technology

井芯半导体针对不同的供液精度、流量需求,有着不同的供液方案,并将其与超声系统集成,可高效实现气、液、超声三者的联动控制。一般来讲,井芯半导体可以提供:

压力式供液泵:利用气体压力实现连续或脉冲式供液。

注射泵供液:可根据需求增加超声或双注射功能

齿轮泵供液:针对连续供液的情况,实现连续恒流供液

超恒流供液:针对精密供液需求,实现流量重复精度达到业内最佳的±0.5%

 

       喷涂产品介绍

45Khz低频喷涂系统    45Khz  Low frequency spraying system

模块化设计,集成了45Khz的发生器、喷头和供液技术,并可以实现气流的聚拢、宽幅等多种形态,实现不同的喷涂宽度。针对助焊剂、屏蔽涂层等可以实现低成本、高效的喷涂。

 

        130Khz高频喷涂系统    130Khz  High frequency spraying system

 

以高于业内的超高频率、0.01W的高精度控制技术和超低阻抗,实现了我司可提供的最佳产品,并匹配涡流气流系统,可以满足光刻胶、燃料电池等应用的精密喷涂需求,实现最佳的膜层均匀性和一致性。

 

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