台式喷涂机
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等离子
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所属分类：大气等离子
常州井芯半导体设备有限公司由国际化的人才团队创建而成，针对超声技术和等离子技术在半导体、微电子领域的广泛应用，致力于半导体专用超声、等离子设备的开发与销售，并与中科院、有研科技等院所研发合作，为业界提供优良的产品与服务。我们在半导体、微电子、先进连接、自动化等多个领域拥有20多年的研发经验，可以为客户提供工艺研究、材料验证、设备定制等一系列服务，并通过技术创新和高品质满足客户的持续发展需要，是您值得信赖的合作伙伴。
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产品详情
产品介绍
利用大气冷等离子技术，井芯半导体的大气等离子设备可以有效去除金属、非金属的氧化膜或有机物，清洁效率高，广泛应用于晶圆光刻胶的去除、玻璃表面的清洗，以及引线框架的表面清洗。
产品详情
创新技术
玻璃的处理前后对比
铜的处理前后对比
产品配置表
| 型号 | APM-1 | APM-100 |
| 处理宽度 | 1mm | 100mm |
| 射频频率 | 13.56/27.12MHZ | 13.56/27.12MHZ |
| 射频功率 | 300W | 300W |
| 射频匹配 | 自动 | 自动 |
| 主气体 | 氩气/氦气 | 氩气/氦气 |
| 主气体流量 | ~30L/min | ~30L/min |
| 工艺气体 | 氮气/氧气/氢气 | 氮气/氧气/氢气 |
| 工艺气体流量 | 0.1~5L/min | 0.1~5L/min |
| 最佳工作距离 | 2~5mm | 2~5mm |
| 电源输入 | 220V | 220V |
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