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等离子

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所属分类:等离子设备
常州井芯半导体设备有限公司由国际化的人才团队创建而成,针对超声技术和等离子技术在半导体、微电子领域的广泛应用,致力于半导体专用超声、等离子设备的开发与销售,并与中科院、有研科技等院所研发合作,为业界提供优良的产品与服务。我们在半导体、微电子、先进连接、自动化等多个领域拥有20多年的研发经验,可以为客户提供工艺研究、材料验证、设备定制等一系列服务,并通过技术创新和高品质满足客户的持续发展需要,是您值得信赖的合作伙伴。
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产品介绍

利用大气冷等离子技术,井芯半导体的大气等离子设备可以有效去除金属、非金属的氧化膜或有机物,清洁效率高,广泛应用于晶圆光刻胶的去除、玻璃表面的清洗,以及引线框架的表面清洗。

 

产品详情

创新技术

玻璃的处理前后对比

 

铜的处理前后对比

 

产品配置表

型号 APM-1 APM-100
处理宽度 1mm 100mm
射频频率 13.56/27.12MHZ 13.56/27.12MHZ
射频功率 300W 300W
射频匹配 自动 自动
主气体 氩气/氦气 氩气/氦气
主气体流量 ~30L/min ~30L/min
工艺气体 氮气/氧气/氢气 氮气/氧气/氢气
工艺气体流量 0.1~5L/min 0.1~5L/min
最佳工作距离 2~5mm 2~5mm
电源输入 220V 220V
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超声锡焊

涂铟机

超声镀锡

超声喷涂

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等离子清洗

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半导体封装

IGBT焊接

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