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自动超声喷涂设备

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所属分类:超声喷涂设备
常州井芯半导体设备有限公司由国际化的人才团队创建而成,针对超声技术和等离子技术在半导体、微电子领域的广泛应用,致力于半导体专用超声、等离子设备的开发与销售,并与中科院、有研科技等院所研发合作,为业界提供优良的产品与服务。我们在半导体、微电子、先进连接、自动化等多个领域拥有20多年的研发经验,可以为客户提供工艺研究、材料验证、设备定制等一系列服务,并通过技术创新和高品质满足客户的持续发展需要,是您值得信赖的合作伙伴。
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产品详情

 产品介绍

自动超声喷涂设备,主要用于光刻胶喷涂,相较于旋涂,光刻胶超声喷涂更加节约光刻胶使用量,且针对晶圆的沟槽结构、MEMS的3D结构可以实现更为均匀的喷涂。

 

产品详情

 

 

配置表

XY轴行程 400mm
Z轴行程 100mm
电机 伺服
运动精度 ±0.02mm
触摸屏 标配
输液泵 注射泵、齿轮泵、柱塞泵或压力泵
气体流量控制 MFC质量流量计
照明灯光 白光或黄光
黄光膜 选配
辅助加热 选配
电源输入 220V
整体功率 2000W

 

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超声锡焊

涂铟机

超声镀锡

超声喷涂

超声划片

等离子清洗

超声键合

超声焊接

超声切割

超声电源

辉光等离子

半导体封装

IGBT焊接

超声浸锡

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