超声烙铁
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自动超声喷涂设备
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所属分类：超声喷涂设备
常州井芯半导体设备有限公司由国际化的人才团队创建而成，针对超声技术和等离子技术在半导体、微电子领域的广泛应用，致力于半导体专用超声、等离子设备的开发与销售，并与中科院、有研科技等院所研发合作，为业界提供优良的产品与服务。我们在半导体、微电子、先进连接、自动化等多个领域拥有20多年的研发经验，可以为客户提供工艺研究、材料验证、设备定制等一系列服务，并通过技术创新和高品质满足客户的持续发展需要，是您值得信赖的合作伙伴。
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产品详情
产品介绍
自动超声喷涂设备，主要用于光刻胶喷涂，相较于旋涂，光刻胶超声喷涂更加节约光刻胶使用量，且针对晶圆的沟槽结构、MEMS的3D结构可以实现更为均匀的喷涂。
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配置表
| XY轴行程 | 400mm |
| Z轴行程 | 100mm |
| 电机 | 伺服 |
| 运动精度 | ±0.02mm |
| 触摸屏 | 标配 |
| 输液泵 | 注射泵、齿轮泵、柱塞泵或压力泵 |
| 气体流量控制 | MFC质量流量计 |
| 照明灯光 | 白光或黄光 |
| 黄光膜 | 选配 |
| 辅助加热 | 选配 |
| 电源输入 | 220V |
| 整体功率 | 2000W |
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超声喷涂模块
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